ZhenAn, katere so osnovne metode, ki se običajno uporabljajo za testiranje zrnatosti ciljnega materiala?

ZhenAn, katere so osnovne metode, ki se običajno uporabljajo za testiranje zrnatosti ciljnega materiala?

Tarčni materiali so običajno polikristalni, z velikostjo zrn od mikronov do milimetrov. Bolj drobna kot so zrna, večja je mejna površina zrn in večji je vpliv na zmogljivost. Pri istem materialu tarče imajo tarče z drobnimi zrni hitrejšo hitrost razprševanja kot tarče z grobimi zrni. Tarče z manjšimi variacijami velikosti zrn (enakomerna porazdelitev) povzročijo enakomernejšo porazdelitev debeline v napršenih filmih. Raziskave so pokazale, da če je velikost zrn titanove tarče nadzorovana pod 100 μm in je variacija v velikosti zrn znotraj 20 %, se lahko kakovost nastalega napršenega filma izboljša. Bistveno izboljšanje.

Tri osnovne metode za testiranje ciljne velikosti zrn
1. Primerjalna metoda: Primerjalna metoda ne zahteva štetja zrn ali odsekov. Pri primerjavi s standardno serijo ocenjevalnih tabel ima ocena velikosti zrn s primerjalno metodo na splošno določeno stopnjo odstopanja (stopnje ±0,5). Ponovljivost in obnovljivost ocenjenih vrednosti sta običajno ±1 stopnja.

2. Površinska metoda: Površinska metoda šteje število zrn znotraj znanega območja in uporablja število zrn na enoto površine za določitev stopnje velikosti zrn. Natančnost te metode je funkcija izračunane velikosti zrn in s pravilnim štetjem je mogoče doseči natančnost ±0,25 ravni. Rezultati površinske metode so nepristranski, z obnovljivostjo manj kot ±0,5 ravni. Ključ do določanja velikosti zrn z metodo površin je v štetju zrn, ki jasno omejujejo meje zrn.

3. Metoda prestrezanja: Število prestreženj se izračuna s štetjem števila prestreženj, kjer segment preskusne črte (ali mreža) znane dolžine seka meje zrn. Stopnja velikosti zrn se določi s številom presekov na dolžinsko enoto. Natančnost metode prestrezanja je funkcija števila izračunanih prestrezkov in se lahko doseže z učinkovito statistično analizo. Natančnost ravni ±0,25. Rezultati meritev z metodo prestrezanja so-brez pristranskosti, ponovljivost in ponovljivost pa sta nižji od ravni ±0,5. Za enako stopnjo natančnosti metoda prestrezanja ne zahteva natančnega označevanja prestreznih točk ali številk prestrezanja, zato je hitrejša od območne metode.