ZhenAn Na kratko opišite dejavnike, ki vplivajo na stopnjo nanašanja ciljnega premaza?

ZhenAn na kratko opišite dejavnike, ki vplivajo na hitrost nanašanja ciljnega premaza?

Magnetronsko razprševanje je metoda fizičnega naparjevanja, ki lahko nanese različne materiale, vključno s kovinami, zlitinami in keramiko, z uporabo posebej oblikovanega magnetnega polja, uporabljenega na diodni razpršilni tarči. Hitrost nanašanja ali hitrost nastajanja filma je ključni parameter za merjenje učinkovitosti magnetronskega razpršilnega stroja. Na hitrost nanašanja vplivajo številni dejavniki, vključno z vrsto delovnega plina, tlakom delovnega plina, temperaturo tarče za razprševanje in jakostjo magnetnega polja. Trije ključni dejavniki vplivajo na hitrost nanašanja tarčnih prevlek z magnetronskim naprševanjem: napetost, tok in moč razprševanja.

Razpršilna napetost
Učinek napetosti razprševanja na hitrost nastajanja filma sledi vzorcu: višja kot je napetost, hitrejša je hitrost razprševanja, ta učinek pa je postopen in postopen znotraj energijskega območja, potrebnega za nanašanje z razprševanjem. Med dejavniki, ki vplivajo na koeficient razprševanja, sta najpomembnejša cilj razprševanja in tok razprševanja. Za plinom je napetost praznjenja res pomembna. Na splošno velja, da med normalnim magnetronskim razprševanjem višja kot je razelektritvena napetost, večji je razpršilni koeficient, kar pomeni, da imajo vpadni ioni večjo energijo. Posledično se atomi iz trdne tarče lažje razpršijo in nanesejo na substrat, da tvorijo tanek film.

Razpršilni tok
Tok razprševanja magnetronske tarče je sorazmeren z ionskim tokom na površini tarče in je zato ključni dejavnik, ki vpliva na hitrost razprševanja. Splošno pravilo magnetronskega razprševanja je, da je hitrost nanašanja najhitrejša pri optimalnem tlaku plina (ki se razlikuje glede na ciljni material in projekt razprševanja). Zato je optimalni tlak plina ustrezen glede na izkoristek razprševanja brez ogrožanja kakovosti filma in izpolnjevanja zahtev strank. Tok razprševanja lahko spremenite na dva načina: s spremembo delovne napetosti ali delovnega tlaka plina.

Moč razprševanja Učinek moči razprševanja na hitrost nanašanja je podoben učinku napetosti razprševanja. Na splošno lahko povečanje moči razprševanja magnetronske tarče poveča stopnjo nastajanja filma. Vendar to ni univerzalno pravilo. Ko je napetost razprševanja magnetronske tarče nizka (na primer okoli 200 voltov) in je tok razprševanja velik, čeprav povprečna moč razprševanja ni nizka, ionov ni mogoče razpršiti in jih ni mogoče odložiti. Predpogoj je, da je napetost razprševanja, uporabljena na magnetronski tarči, dovolj visoka, da je energija ionov delovnega plina v električnem polju med katodo in anodo dovolj večja od "praga energije razprševanja" tarče.