Kakšni so izzivi uporabe tarč volframa?

Visoka tališče: Visoka tališče volframa (3422 stopinj) zahteva, da se sistem za brizganje uporablja pri visokih temperaturah. To zahteva bolj robustno opremo in večji vnos energije. Za premagovanje tega vprašanja se razvijajo napredne tehnologije za brizganje z izboljšanimi mehanizmi ogrevanja in hlajenja. Na primer, za učinkovito ogrevanje cilja se uporabljajo indukcijsko ogrevanje ali viri RF z veliko močjo, medtem ko se napredni hladilni sistemi uporabljajo za nadzor celotne temperature komore za brizganje.

Filmski stres: Tungsten filmi imajo lahko inherentne napetosti, ki lahko povzročijo pokanje ali luščenje filma, še posebej, če ga odložimo v določenih pogojih ali v določeni debelini. Za nadzor teh napetosti je treba skrbno optimizirati procesne parametre, kot so moč brizganja, pretok plina in temperatura substrata. Poleg tega lahko za lajšanje notranjega stresa filma uporabimo zdravljenje z žarjenjem po oddelku.

Vprašanja ciljne vezi: Zaradi visoke trdote in krhtice volframovih ciljev se je težko učinkovito povezati na podložno ploščo. To je nujen korak za učinkovito odvajanje toplote in mehansko stabilnost med postopkom brizganja. Raziskujejo nove tehnike vezave, na primer uporaba specializiranih lepil ali izboljšane metode mehanskega vpenjanja, da se zagotovi močna in zanesljiva vez med volframovim ciljem in podporno ploščo.