Tarče iz tantalaobičajno so v obliki diskov ali pravokotnih plošč, vendar jih je mogoče izdelati tudi v različnih oblikah in velikostih, odvisno od posebnih zahtev uporabe. Njegove glavne strukturne značilnosti vključujejo:
Visoka čistost: običajno več kot 99,9 %, včasih tudi do 99,999 %. Visoka čistost zagotavlja, da se med postopkom nanašanja tankega filma ne vnesejo nezaželene nečistoče.
Izenačenost: Tarče iz tantala morajo imeti enakomerno mikrostrukturo, da se zagotovi enakomerna porazdelitev materiala med nanašanjem tankega filma.
Visoka gostota: Enakomernost gostote je ključnega pomena za zagotovitev stabilnosti med nanašanjem.