Kaj je kovinska tarča?

Kaj je kovinska tarča?

Ciljni material je eden glavnih materialov za pripravo tankih filmov. Uporablja se predvsem v integriranih vezjih, ploščatih zaslonih, sončnih celicah, snemalnih medijih, pametnem steklu itd., in ima visoke zahteve glede čistosti materiala in stabilnosti.

Načelo delovanja tarčnega materiala za brizganje: brizganje je ena glavnih tehnologij za pripravo tankoslojnih materialov. Uporablja ione, ki jih ustvari vir ionov, za pospeševanje in zbiranje v vakuumu, da tvori-hitrost energijskega ionskega žarka za bombardiranje trdne površine. Ioni in atomi na trdni površini izmenjujejo kinetično energijo, zaradi česar atomi na trdni površini zapustijo trdno snov in se odložijo na površino substrata. Bombardirana trdna snov je ciljni material za razprševanje.

Trend razvoja ciljnih materialov je: visoka stopnja razprševanja, nadzor orientacije zrn, velika velikost in kovina visoke-čistosti.

Ciljni material je varjen s "tarčno prazno" in "zadnjo ploščo".

(1) Slepa tarča je tarčni material, ki ga obstreljuje visokohitrostni ionski žarek. Je osrednji del tarčnega materiala za razprševanje in vključuje visoko{3}}čisto kovino in nadzor orientacije zrn. Med postopkom nanosa z brizganjem, potem ko tarčo zadenejo ioni, se njeni površinski atomi napršijo in razpršijo ter odložijo na podlago, da tvorijo tanek elektronski film.

(2) Zadnja plošča ima pomembno vlogo pri fiksiranju tarče za brizganje, kar vključuje postopke varjenja. Ker imajo visoko{2}}čiste kovine nizko trdnost, je treba tarčo za naprševanje namestiti v namenski stroj, da se zaključi postopek naprševanja. Stroj je v okolju z visoko-napetostjo in visokim{5}}vakuumom. Zato je treba surovec tarče za brizganje iz kovine ultra-visoke-čistosti povezati s hrbtno ploščo z različnimi postopki varjenja. Zadnja plošča mora imeti dobro električno in toplotno prevodnost.